कार्यकारी आवृति: | 2450 मेगाहर्ट्ज | बिजली उत्पादन: | 0.1 ~ 6 किलोवाट लगातार समायोज्य |
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शक्ति स्थिरता: | ±1% (@ रेटेड स्थिति) से बेहतर | आउटपुट वेवगाइड इंटरफ़ेस: | बीजे-26/22 FD-26/22 मानक निकला हुआ किनारा के साथ |
पावर इनपुट: | 380VAC/50Hz, 3-चरण 5-तार, 11kW | शीतल जल प्रवाह: | 18 लीटर/मिनट |
सिस्टम स्टैंडिंग वेव गुणांक: | वीएसडब्ल्यूआर 1.5 | माइक्रोवेव रिसाव: | राष्ट्रीय मानकों को पूरा करें |
आकार और कार्य मोड: | 200 x 300 (एच) टीएम मोड |
माइक्रोवेव जनरेटर और सिस्टम | कार्यकारी आवृति | 2450 मेगाहर्ट्ज |
बिजली उत्पादन | 0.1 ~ 6 किलोवाट लगातार समायोज्य | |
शक्ति स्थिरता | ±1% (@ रेटेड स्थिति) से बेहतर | |
आउटपुट वेवगाइड इंटरफ़ेस | बीजे-26/22 FD-26/22 मानक निकला हुआ किनारा के साथ | |
पावर इनपुट | 380VAC/50Hz, 3-चरण 5-तार, 11kW | |
शीतल जल प्रवाह | 18 लीटर/मिनट | |
सिस्टम स्टैंडिंग वेव गुणांक | वीएसडब्ल्यूआर 1.5 | |
माइक्रोवेव रिसाव | राष्ट्रीय मानकों को पूरा करें | |
माइक्रोवेव वैक्यूम डिस्चार्ज चैम्बर | आकार और कार्य मोड | 200 x 300 (एच) टीएम मोड |
प्रभावी निक्षेपण क्षेत्र | 50 मिमी | |
दबाव नियंत्रण सीमा | 0.5KPa~30KPa | |
दबाव नियंत्रण सटीकता | ±15Pa | |
वैक्यूम अधिग्रहण | एकल क्रिस्टल विकास | 10-15μm / H की वृद्धि दर, एकल विकास मोटाई 1.6mm |
एकल क्रिस्टल गुणवत्ता | नग्न आंखों के नीचे लगभग कोई दोष नहीं | |
वैक्यूम प्रणाली | ब्लोआउट मोड | N2 . से भरें |
अंतिम वैक्यूम डिग्री | 8×10-4Pa . से बेहतर | |
वैक्यूम रिसाव दर | ≤10-9pA.m3/s | |
दबाव बढ़ना | 24 घंटे औसत दबाव वृद्धि 1Pa/H . से कम है |
गैस जन प्रवाह प्रणाली | शुद्धता | 2% -100% एफएस, इनलेटप्रेशर 0.2-0.3 एमपीए |
गैस प्रकार और रेंज | H2(1SLM),CH4(100SCCM),O2(10SCCM),N2(20SCCM) | |
नमूना चरण प्रणाली | नमूना चरण व्यास | Φ60 मिमी, पानी ठंडा; |
नमूना की समायोजन सीमा टेबल |
0 ~ 15 मिमी | |
गुहा प्लेट समायोजन रेंज | 0 ~ 60 मिमी | |
सब्सट्रेट तापमान माप | अवरक्त तापमान माप श्रेणी |
600 ~ 1200 ℃ (इन्फ्रारेड तापमान माप) |
तापमान नियंत्रण परिशुद्धता | तापमान नियंत्रण परिशुद्धता ± 5 ℃; | |
निरंतर तापमान क्षेत्र की नियंत्रण सीमा | मोलिब्डेनम प्लेटफॉर्म के प्रत्येक बिंदु का तापमान अंतर≤30℃ | |
डिवाइस इंटरफ़ेस | इनलेट और आउटलेट पानी | G1 "बाहरी तार |
गैस कनेक्शन | 1/4 "वीसीआर बाहरी तार | |
निकास निर्वहन इंटरफ़ेस | 3/4 "बाहरी तार | |
विद्युत लाइन | टीबी4506 | |
इन्सुलेशन प्रतिरोध | 5एमΩ | |
विश्वसनीयता | सामान्य परिस्थितियों में निरंतर और स्थिर कार्य समय 24H . से कम नहीं होना चाहिए | |
कुल बिजली आपूर्ति | 380VAC ± 5% / 50 हर्ट्ज, 3phase5wire, 13kW | |
कुल ठंडा पानी | 34 एल / मिनट, स्वच्छ शीतल जल, इनलेट पानी का तापमान 20 ℃ ± 5 ℃ है; पानी का दबाव 0.2 ~ 0.4 एमपीए है | |
आयाम | ~ 1.95 (एल) x0.8 (डब्ल्यू) x1.90 (एच) एम |